TDX-01填充柱 高品质三氯氢硅中碳含量测定
简单介绍
高品质三氯氢硅中碳含量测定, 液化石油气,二甲醚,甲缩醛,乙缩醛,乙醇,室内空气,焦炉煤气,炼厂气,天然气,变压器油,多氯联苯,植物油,6号溶剂残留,裂解进样器,增塑剂
TDX-01填充柱 高品质三氯氢硅中碳含量测定的详细介绍
高品质三氯氢硅中碳含量测定
高品质三氯氢硅中碳含量测定 详细信息:
名称:填充柱
固定相:碳分子筛
规格:50cm*3mm
型号;TDX-01
应用:YST1059-2015硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法
随着科技的进步,对硅器件的品质提出更高的要求,但由于碳杂质的存在,严重制约着其稳定性和使用寿命的提高。文章对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量、三氯氢硅中甲基二氯硅烷等相关性进行分析,结果表明:多晶硅碳含量主要受氢气中甲烷含量影响,而三氯氢硅中甲基二氯硅烷对多晶硅碳含量影响不大,实际生产中应将回收氢中甲烷含量控制在5ppmv以下。
浩瀚色谱(山东)应用技术开发有限公司将高纯三氯氢硅中的含碳物质在氢气还原炉内转化成甲烷,利用配备氢火焰离子化检测器的气相色谱仪进行测定,后换算成总碳的含量。结果发现,高纯三氯氢硅中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物质在转化炉内均具有良好的转化率,转化率大于85%。样品中含碳量的测定结果之间重复性好,精密度较高,相对标准偏差均小于10%。方法简单、快捷,准确度高,能很好地满足高纯三氯氢硅样品中对含碳物质的质量控制要求。
高品质三氯氢硅中碳含量测定 测试谱图:






高品质三氯氢硅中碳含量测定 详细信息:
名称:填充柱
固定相:碳分子筛
规格:50cm*3mm
型号;TDX-01
应用:YST1059-2015硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法
随着科技的进步,对硅器件的品质提出更高的要求,但由于碳杂质的存在,严重制约着其稳定性和使用寿命的提高。文章对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量、三氯氢硅中甲基二氯硅烷等相关性进行分析,结果表明:多晶硅碳含量主要受氢气中甲烷含量影响,而三氯氢硅中甲基二氯硅烷对多晶硅碳含量影响不大,实际生产中应将回收氢中甲烷含量控制在5ppmv以下。
浩瀚色谱(山东)应用技术开发有限公司将高纯三氯氢硅中的含碳物质在氢气还原炉内转化成甲烷,利用配备氢火焰离子化检测器的气相色谱仪进行测定,后换算成总碳的含量。结果发现,高纯三氯氢硅中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物质在转化炉内均具有良好的转化率,转化率大于85%。样品中含碳量的测定结果之间重复性好,精密度较高,相对标准偏差均小于10%。方法简单、快捷,准确度高,能很好地满足高纯三氯氢硅样品中对含碳物质的质量控制要求。
高品质三氯氢硅中碳含量测定 测试谱图:






采用的不锈钢管、玻璃管和色谱填料制作各种填充色谱柱
如需要用不锈钢过滤网作为柱两端堵头,请在订货时注明
若采用柱上进样,柱入口前端将留有6CM 的空间,
为防止色谱填料流出,柱两端均用硅烷化玻璃棉封堵
若采用阀进样或非柱上进样的色谱柱,其柱入口处被填满
可提供多种型号气相色谱仪所用玻璃柱构型
2mm内径玻璃柱管的入口处均设有斜面以利进样
每根色谱柱均经过充分老化和严格质量评价测试
注意事项
感谢您购买浩瀚生产的色谱柱.
浩瀚提供的每一根色谱柱均经过老化,为您获的分析分离效果,请在使用前再老化1-2小时。老化时,应先通载气10min左右,待柱内空气置换干净后,再用程序升温升zui高使用温度老化。
为避免检测器被污染,老化时请不要将色谱柱和检测器相连。
当柱箱温度高于室温时,载气中少量氧会损坏色谱柱内的固定相,载气必须采用脱氧管进一步脱氧(建议所用载气中氧气含量不要超过1PPm)
安装色谱柱时,产品牌号应面向操作者,左侧为色谱柱的进样口(或见标识)。
拆卸色谱柱时,先将柱温降室温,然后再关载气。
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